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氦質譜檢漏儀,EBARA真空泵,普發檢漏儀,普發真空泵,inficon,壓力控制器
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產品簡單介紹
質譜分析儀
Micro Vision2 產品的技術是基于MKS殘余氣體分析質譜傳感頭和氣體監控系統的核心技術,利用*先進的射頻電路模塊和數據采集電路模塊,具有**的性能,為要求*嚴格的應用所需,雙CPU提供了高穩定的運行,快速和寬范圍的動態掃描,使得工藝偏差和氣體成分改變的監測變得很容易及**的通訊功能。靈活的輸入輸出性能,易與機臺和其他傳感器連接。質量數范圍:1-300可選,雙檢測配置。 eVision 2 基于以太網的低成本的殘余氣體分析儀。利用Web瀏覽器或通過EasyView軟件方便地操作系統。質量數范圍:1-200可選,雙檢測器配置可選。
MASS-FLO系列金屬密封質量流量控制器
MASS-FLO系列金屬密封質量流量控制器
ENI射頻電源阻抗匹配器
ENI射頻電源阻抗匹配器
臭氧發生器
SEMOZON 臭氧發生器以及集成系統 LIQUOZON Smart臭氧水循環系統
反應氣體發生器
ASTRON系列遠程等離子體電源
MKS 質量流量計
MKS 質量流量計是采用感熱式測量,通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。
DELTA //流量比例控制器
DELTA //流量比例控制器
Tru-Flo質量流量檢驗器
Tru-Flo質量流量檢驗器
以壓力為基礎的流量控制器
以壓力為基礎的流量控制器
MASS-FLO 系列橡膠密封質量流量控制器
MASS-FLO系列橡膠密封質量流量控制器
MF1系列數字質量流量控制器
通用數字質量流量控制器。
General系列數字質量流量控制器
通用數字質量流量控制器。 精度為設定值的正負1%,響應速度快于500毫秒,不同氣體以及量程間自由切換。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬和數字(RS-485,DeviceNet,Profibus)通訊接口可選。
金屬密封數字質量流量控制器
新一代多氣體/多量程數字質量流量控制器。 實時高精度流量控制是基于先進的數字算法技術,提供精度為設定值的正負1%,相應速度快于500毫秒,不同氣體及量程間自由切換的優異功能。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬和數字(RS-485,DeviceNet,Modbus/TCP)通訊接口可選。 ALTA 系列金屬密封數字質量流量控制器。精度為設定值的正負1%,相應速度快于1秒,不同氣體及量程間自由切換。各種模擬和數字(Profibus,DeviceNet)通訊接口可選。
MKS電源-直流/脈沖功率電源
ENI直流/脈沖電源主要應用于半導體,光電器件,磁盤,平板顯示器等工業中的鍍膜工藝。
MKS電源-射頻功率電源
ENI提供高可靠性的固態電源,其頻率從2MHz到60MHz,功率從3百瓦到13千瓦,還可選自動頻率跳鞋,廣泛應用于Etch,CVD和PVD等工藝。
MKS電源-等離子體電源
ASTeX 遠程等離子體電源適用于氧氣,氮氣,氫氣,水汽等氣體,廣泛應用于CVD,ETCH,去膠等晶圓工藝。
各種真空計
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壓力傳感器/質量流量控制器電源和顯示儀
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